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產(chǎn)品概述：
● 設(shè)備空間占用相比以往品減少30%。
● 最高等級(jí)回轉(zhuǎn)精度。
● Y軸移動(dòng)量±70mm。
● R移動(dòng)量275mm（較先前機(jī)種提高62%）。
● 移動(dòng)速度提高Z軸 50mm/sec，X軸 30mm/sec。
● 總高度2500 mm以下，可適用空間高度較低的測(cè)量室。
● 主要擴(kuò)展機(jī)能∶非接觸檢出器Trispy、圓周粗度測(cè)定、長(zhǎng)物檢出器。
| 機(jī)構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承·工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式 |
|---|---|
| 回轉(zhuǎn)精度 | 0.05um (JISB 7451) |
| 最大測(cè)定徑 | 內(nèi)外徑都是Φ550mm(※EC5100H的機(jī)種） |
| 積載質(zhì)量 | 200kg (※EC5100H的機(jī)種） |
| 上下移動(dòng)量 | 1000mm(使用b觸針臂時(shí)）（※EC5100H的機(jī)種） |
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
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