全姿勢檢出器：

利用長探針桿臂以及新開發(fā)“one touch”式檢出器holder可自由進(jìn)入深穴、平面、傾斜面……等測定點(diǎn)。另有防止探針落差過大之保護(hù)機(jī)構(gòu)。

一， R/Z軸自動停止裝置：

檢出器半徑方向或上下方向，利用伺服控制，可自動找出最適合測定位置，幾乎無需手動微調(diào)整，操作性大幅上揚(yáng)。

二， 缺陷圖形指定：

此指定方式，可從直線圖形上，任何位置直接指定之，使操作上更加方便，無需細(xì)微調(diào)整。

三， 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)：

Kosaka的多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)工作臺，由于特殊設(shè)計(jì)，有以下特點(diǎn)：
1、具高剛性高負(fù)荷能力，故對偏負(fù)荷以及外部震動有強(qiáng)力之抑制能力。
2、壓力分布性均勻、安定性極佳的情況下，可得到高回轉(zhuǎn)精度。
3， 空氣消耗量非常之少（為傳統(tǒng)的1/3），穩(wěn)定度高并可達(dá)經(jīng)濟(jì)之效果。
有以上三特點(diǎn)，即是為了達(dá)到高精度，安定性極佳之測量結(jié)果的堅(jiān)強(qiáng)保證。

四， 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)：

最大可連續(xù)測定128斷面，而進(jìn)行自動測定。