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產(chǎn)品概述：
品牌：致東Radiation
● 緊湊型膜厚量測設(shè)備
● 安裝移動(dòng)迅速便捷
● 適用于所有非金屬膜質(zhì)
● 多樣化的應(yīng)用選擇
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口
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項(xiàng)目 |
內(nèi)容 |
規(guī)格概述 |
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1 |
波長范圍 |
420~1000nm |
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2 |
Resolution |
1 nm |
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3 |
膜厚測定范圍 |
250 A- 20 um |
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4 |
膜厚測定精度 |
T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer |
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5 |
膜厚測定重復(fù)性 |
SR Thickness repeatability: ≤ 1? (1?) (at 1100?, SiO2/Si) |
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6 |
測定光源 |
鹵素?zé)襞?/span>(含 Constant Current Power Supply) |
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7 |
透明基板里面反射補(bǔ)正機(jī)能 |
包括透明基板背后反射的修正(軟件) |
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8 |
測定SPOT徑(Spot Size ) |
50 um Diameter ( 20 X Objective ) , can be smaller with less signal / noise ratio |
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9 |
Tact time |
2S（測試1S+分析1S） |
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