導(dǎo)讀：臺階儀廣泛應(yīng)用于液晶面板及半導(dǎo)體等行業(yè)，能夠幫助企業(yè)進行有效的鍍層厚度管控。本文主要介紹目前液晶面板行業(yè)用途比較廣泛的ITO Film ITO厚度檢測設(shè)備kosaka臺階儀ET4000LPX。

玻璃基板易碎、重量大的缺點、并且大尺寸的玻璃基板制作不易；設(shè)備成本昂貴故往塑料基板趨勢發(fā)展。塑料基板具質(zhì)輕薄、耐沖擊及可撓曲等特性。目前中國的液晶面板產(chǎn)能占據(jù)世界產(chǎn)能的半壁江山，ITO FILM需求市場巨大。

日本進口的KOSAKA 臺階儀ET4000LPX就是用于ITO FILM ITO厚度的質(zhì)量管控，介紹如下：

KOSAKA 臺階儀ET4000系列

（http://m.pfsclub.com/products/21.html）

● 高精度．安定性．機能性卓越適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。

● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇

● 可提供多孔質(zhì)stage，及分段式真空吸附，一鍵式最大程度減少film 基材吸附時產(chǎn)生的變形

KOSAKA 臺階儀ET4000LPX

1－1 檢出器PU-EA2W

? 量測力 min. 0.5 μN ~ Max. 500 μN

? 量測方式     Differential transforme（直動式）。

? 量測范圍   370 μm

? 測針大小       2um或者0.5um等可選

1－2 量測單元

? 量測長度        100mm

? 量測速度      0.005 ~ 20.0 mm/s

? X量測精度   0.01um

? 定位精度   ±5um

? 手動PX軸        400mm

? 手動PX軸速度       Max.15mm/S

1－3 分析功能

? 保留、讀取，及打印量測數(shù)據(jù)及圖形的功能

? 執(zhí)行編輯自動量測recipe功能

? 對段差及粗糙度的分析功能

? 應(yīng)力分析功能

以下圖片是我們的客戶用KOSAKA 臺階儀來測VLSI標樣的實拍圖，供參考。歡迎有意者來電共同探討！