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產(chǎn)品概述：
配備劃時代意義的高精度檢出控制系統(tǒng)∶可檢出微小形狀。·
可測量最小孔徑10μm/最大深度300μm的孔內(nèi)形狀。
高分辨率∶ 10nm 可實(shí)現(xiàn)低測定壓∶ 1pN以下。
采用高彈性光纖維測針。
可測量深孔的內(nèi)徑/外徑/深度、溝槽的內(nèi)寬/外寬/深度、壁面。
具有解析功能∶ 真圓度、圓柱度、直徑、段差、槽寬、直角度、粗糙度等多種解析功能。
可通過軟件編程，實(shí)現(xiàn)自動測量。
搭載測針自動切換裝置。
FP-Lab產(chǎn)品參數(shù)：
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最小測量孔徑 |
φ10μm～ |
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最大測量長度 |
300×300×300μm |
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測量分辨率 |
10nm |
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測定力 |
0.1μm以下 |
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移動軸（X，Y，Z） |
50×50×52mm |
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最大樣品尺寸 |
φ160mm t=50mm |
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