導(dǎo)讀：本文討論的核心問題是，非接觸式光學(xué)測(cè)量的確能夠使樣品表面免于損傷，但并不是萬能的，接觸式測(cè)量的結(jié)果仍然具有其重要意義。光學(xué)測(cè)量中也會(huì)遇到的各種難題，例如過高的傾斜角度、極高或極低的表面反射率以及受工件形狀限制，無法進(jìn)行測(cè)量等。

當(dāng)今各個(gè)行業(yè)的工藝不斷向前發(fā)展，產(chǎn)品尺寸不斷縮小，加工精細(xì)化程度不斷提高，使得質(zhì)量控制這一環(huán)節(jié)對(duì)測(cè)量儀器和設(shè)備的要求越來越高。傳統(tǒng)的機(jī)械加工行業(yè)，軸承件、緊固件都是金屬材質(zhì)，直接使用接觸式測(cè)量即可；但如今的超精密加工件、非球面鏡頭、光學(xué)薄膜等等產(chǎn)品都十分金貴，就算用非常小的測(cè)定力在表面劃過，也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品無法再使用。因此，市場(chǎng)對(duì)非接觸式光學(xué)測(cè)量的需求越來越大。

但是，每一種技術(shù)都有其長處和短處，非接觸式光學(xué)測(cè)量也不是完美的。

簡單來說，非接觸式光學(xué)測(cè)量的結(jié)果不一定能和接觸式測(cè)量結(jié)果相媲美。接觸式的測(cè)量是實(shí)實(shí)在在接觸到樣品表面后得出的（參見前面一篇文章《臺(tái)階儀的工作原理》）。但非接觸式測(cè)量則是靠不同的光學(xué)原理去探測(cè)樣品的表面形貌，然后通過軟件計(jì)算出測(cè)量的結(jié)果，再展示出來。

這一過程存在非常大的變量，包括樣品的吸光率、探測(cè)光的波長、周圍的環(huán)境條件（濕度、震動(dòng)）等等。故此，很多對(duì)精度要求嚴(yán)格的產(chǎn)業(yè)和研究反而傾向于選擇可用的接觸式測(cè)量結(jié)果，或者，就算選用非接觸式測(cè)量設(shè)備，也要事先考察其設(shè)備的測(cè)量精度，例如重復(fù)性等參數(shù)和接觸式測(cè)量的相關(guān)性。這種相關(guān)性如何評(píng)估呢？簡單來說就是拿接觸式測(cè)量的結(jié)果和非接觸式測(cè)量的結(jié)果進(jìn)行比對(duì)，越接近接觸式的測(cè)量結(jié)果，那么就說明這種非接觸式測(cè)量設(shè)備的可信度越高。不同的地區(qū)、國家和行業(yè)都有權(quán)威的資質(zhì)鑒定組織，如果一臺(tái)非接觸式的測(cè)量設(shè)備能夠得到其認(rèn)可，也就從側(cè)面證明了設(shè)備的精度。

日本三鷹光器的非接觸式光學(xué)形貌測(cè)量儀，其非接觸式測(cè)量原理已經(jīng)被納入ISO國際標(biāo)準(zhǔn)25178-6面領(lǐng)域表面紋理分類方法中的“自動(dòng)對(duì)焦分析”（ ISO25178-605：Point Autofocus Probe），其測(cè)量結(jié)果和接觸式測(cè)量結(jié)果具有高度的相關(guān)性（如上圖的三鷹光學(xué)量測(cè)儀MLP-3測(cè)量結(jié)果與PTB檢測(cè)表的對(duì)比），廣泛應(yīng)用于光學(xué)非球面元件、電子元件、超精密加工等各類產(chǎn)品的測(cè)量。

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