導(dǎo)讀：本文主要介紹專(zhuān)注于非接觸式光學(xué)測(cè)量的日本企業(yè)——三鷹光器的概況，包括其歷史、技術(shù)、產(chǎn)品系列和在世界測(cè)量領(lǐng)域內(nèi)所獲得的認(rèn)可。

談起非接觸式光學(xué)測(cè)量，中國(guó)國(guó)內(nèi)比較知名的有德國(guó)的萊卡（Leica）、蔡司（Carl Zeiss），美國(guó)的Zygo，日本的尼康（Nikon）、奧林巴斯（Olympus），歐洲的海克斯康（Hexagon）等等。今天要介紹的是一家在中國(guó)國(guó)內(nèi)聲名不顯，但是在日本國(guó)內(nèi)以及歐美市場(chǎng)得到廣泛認(rèn)可的日本光學(xué)測(cè)量專(zhuān)家——三鷹光器（Mitaka），其獨(dú)特的點(diǎn)激光自動(dòng)對(duì)焦光學(xué)測(cè)量方式，已經(jīng)被寫(xiě)入國(guó)際ISO25178-605標(biāo)準(zhǔn)，在保證高精度的同時(shí)，不受樣品反射率的影響，即使是高達(dá)87度的傾斜角度，也能捕捉真實(shí)的3D數(shù)據(jù)。

三鷹光器創(chuàng)始于1966年，創(chuàng)始人為中村義一，創(chuàng)業(yè)以來(lái)專(zhuān)精于高精度天體望遠(yuǎn)鏡、光學(xué)測(cè)量設(shè)備研發(fā)制造，深受客戶(hù)信賴(lài)。三鷹不僅參加過(guò)180次以上火箭試驗(yàn)，裝載了700臺(tái)以上的觀測(cè)設(shè)備，其特殊照相機(jī)裝載在美國(guó)國(guó)家航空航天局（NASA）航天飛機(jī)上，另外，獲國(guó)際專(zhuān)利的腦外科手術(shù)顯微鏡也得到客戶(hù)的好評(píng)。2006年，日本天皇親自拜訪了三鷹光器。

三鷹光器非接觸式測(cè)量設(shè)備包括多個(gè)系列。

PF-60系列是體型小巧緊湊的非接觸式形貌測(cè)量?jī)x，占用空間小，重量?jī)H有60kg，成人可隨意搬動(dòng)，但卻有210*210mm大的載物臺(tái)，X軸和Y軸量程為60mm，光柵尺精度0.1um；Z軸量程為10mm，分辨率為0.01um，非常適合企業(yè)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、高?？蒲性核褂?，可以用來(lái)測(cè)量光學(xué)非球面、自由曲面、菲涅爾透鏡、微透鏡等產(chǎn)品。

NH系列，是PF-60的工業(yè)版，可選配360度旋轉(zhuǎn)的載物臺(tái)，以測(cè)量各種形狀的光學(xué)非球面，并且進(jìn)一步提升了X、Y、Z軸的行程，達(dá)到150mm*150mm*10mm,垂直方向Z軸精度也進(jìn)一步提升到1納米，相對(duì)于同領(lǐng)域內(nèi)常用的松下UA3P，性?xún)r(jià)比更高，且能避免在非球面上的留下劃痕，保護(hù)樣品。

MLP-3SP系列，是三鷹光器出品的高端光學(xué)測(cè)量機(jī)型，垂直方向z軸分辨率可達(dá)1nm，不僅能夠以非接觸的方式自動(dòng)對(duì)焦，測(cè)量2D和3D表面形貌，解析表面粗糙度和波紋度，還能夠測(cè)量圓球、圓柱等形狀的圓度，圓柱度，其測(cè)量結(jié)果和接觸式測(cè)量結(jié)果具有高度相關(guān)性，已經(jīng)得到ISO國(guó)際質(zhì)量體系認(rèn)證，甚至能用于多邊形和復(fù)雜精密齒輪的輪廓測(cè)量。在超精密加工、研磨、光學(xué)元件領(lǐng)域都有用武之地。

如您有非接觸式光學(xué)表面形貌測(cè)量需求，不論是表面粗糙度還是輪廓度，歡迎與我司聯(lián)系，我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)！

關(guān)鍵詞：非接觸 | 光學(xué)形貌儀 | 三維表面形貌 | 表面粗糙度儀