臺(tái)階儀的直線度是什么？有什么作用？如果知道花費(fèi)幾十萬(wàn)元購(gòu)買(mǎi)的臺(tái)階儀，測(cè)出來(lái)的結(jié)果有可能不準(zhǔn)，自己所看到的圖形和數(shù)據(jù)，也都是經(jīng)過(guò)測(cè)量軟件算法處理之后想讓你看到的樣子，用戶想必不會(huì)滿意。尤其在學(xué)術(shù)科研領(lǐng)域，極小的數(shù)據(jù)差別和不理想的重現(xiàn)性變化，都有可能會(huì)影響到研究結(jié)果的可信度。如果您是科研領(lǐng)域的臺(tái)階儀用戶，相信這篇文章多少可以為您提供一些可供參考的資料。

臺(tái)階儀作為接觸式的精密測(cè)量設(shè)備，其測(cè)量方式往往是探針接觸樣品表面后，沿X軸方向測(cè)量一定的長(zhǎng)度，然后評(píng)估這段長(zhǎng)度上出現(xiàn)的臺(tái)階高度。這段距離可長(zhǎng)可短，一般來(lái)說(shuō)，對(duì)精度和分辨率的要求越高，距離應(yīng)盡可能設(shè)置的越短。此外，也要考慮樣品工藝和制程是否優(yōu)良。

如果沒(méi)有直線度的保證，測(cè)量長(zhǎng)度越長(zhǎng)，測(cè)量結(jié)果失真就越嚴(yán)重。就好像在黑板上畫(huà)一條線，畫(huà)10厘米，大家都能畫(huà)得很直，和黑板的上下底邊保持平行，但如果是50厘米，100厘米，500厘米呢？對(duì)設(shè)備來(lái)說(shuō)，道理也是一樣的。測(cè)量長(zhǎng)度越長(zhǎng)，平臺(tái)移動(dòng)軸保持在一條直線上的難度就越大，極小的偏移也會(huì)導(dǎo)致測(cè)量位置不理想。更何況相對(duì)于2D的黑板來(lái)說(shuō)，實(shí)際測(cè)量中的偏移是3D的，以理想的移動(dòng)軸直線為軸心線而構(gòu)成的整個(gè)圓柱，都是可能發(fā)生偏移的方向。下圖中，是沒(méi)有直線度保證設(shè)備的實(shí)際測(cè)量結(jié)果舉例。

株式會(huì)社小坂研究所專注于精密測(cè)量設(shè)備的制造，對(duì)移動(dòng)軸直線度的保證有著自己的核心技術(shù)。Kosaka ET系列臺(tái)階儀,能夠達(dá)到100mm的測(cè)量長(zhǎng)度上，其直線度的偏差量小于0.2um——也就是說(shuō)，如果偏移量是以移動(dòng)方向?yàn)檩S心線形成的圓柱，小班研究所可以將這個(gè)圓柱做到高度為100,000um,但半徑小于0.2um的程度，從而保證還原樣品表面的真實(shí)形貌和臺(tái)階高度。

總而言之，直線度是鮮為人知但卻對(duì)測(cè)量結(jié)果有重要意義的一項(xiàng)技術(shù)參數(shù)。如果您的研究成果或研發(fā)產(chǎn)品對(duì)這一指標(biāo)有較高標(biāo)準(zhǔn)，歡迎您致電質(zhì)朋儀器，我們將為您提供專業(yè)的儀器選購(gòu)咨詢、免費(fèi)的測(cè)樣服務(wù)和優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。質(zhì)量向上，朋賢友達(dá)，期待您的垂詢！

日本進(jìn)口KOSAKA 臺(tái)階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分別對(duì)應(yīng)：學(xué)術(shù)和科研單位的膜厚測(cè)量（如工程系、材料系和機(jī)電系材料測(cè)量需求），面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動(dòng)化測(cè)量和超大型工廠全自動(dòng)化測(cè)量的需求。

關(guān)鍵詞：臺(tái)階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 段差分析儀