導(dǎo)讀：本文解釋了日本小坂研究所生產(chǎn)的Kosaka臺階儀ET200A，其直動式測量原理和業(yè)界其他采用杠桿式測量原理的臺階儀有何種區(qū)別，以及這種區(qū)別給臺階儀精度帶來的影響。

臺階儀測量結(jié)果精度如何，跟其傳感器的工作原理息息相關(guān)。臺階儀全都是接觸式測量，目前業(yè)界的臺階儀，其工作原理大概有兩種：直動式運動軌跡與杠桿式運動軌跡，兩種不同的運動軌跡，也決定了不同的精度和重現(xiàn)性。

如上圖，右側(cè)是采取杠桿式運動軌跡的傳感器測量原理。以中間黃色的Bearing Pivot為支點，通過右邊的Iron Cylinder上下運動，從而調(diào)節(jié)左邊下方臺階儀測針尖（Stylus Tip）的高低。這種原理從根本上決定了測針尖的運動軌跡是圓弧狀的，因此最終測量的數(shù)據(jù)會產(chǎn)生誤差。所以，采用此原理的臺階儀，其測定結(jié)果都需要進(jìn)行“圓弧補(bǔ)償”，即通過數(shù)學(xué)運算的方式彌補(bǔ)這種誤差。但是，納米甚至納米以下級別的測量，即使是這種程度的誤差也會影響設(shè)備的精度與數(shù)據(jù)的再現(xiàn)性。

針對此問題，小坂研究所臺階儀ET200A的傳感器使用了獨特的直動式運動軌跡。如上圖左側(cè)可見，與差動變壓傳感器相連接的測針直上直下，當(dāng)測針尖劃過樣品表面時，表面微細(xì)形狀的變化就可以真實地反應(yīng)出來，獲得最精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，無需擔(dān)心其他因素的影響。

直動式運動軌跡在設(shè)備的精度和數(shù)據(jù)的重現(xiàn)性方面帶來的直接結(jié)果是：在200萬倍放大倍率下，設(shè)備Z軸分辨率可達(dá)0.025nm；測量1um以下的臺階時，1σ的數(shù)據(jù)再現(xiàn)性為0.3nm或更小（理想震動條件下，載物臺中心測量臺階高度標(biāo)準(zhǔn)片10次）。

因此，如果您的測量需求對精度和重現(xiàn)性的要求較高（亞微米、納米級別），歡迎來電垂詢，我們將為您提供免費測樣服務(wù)，幫您解決測量需求！

日本進(jìn)口的KOSAKA 臺階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000系列，分別對應(yīng)：學(xué)術(shù)和科研單位的研發(fā)測量（例如工程系、材料系和機(jī)電系的材料測量需求），面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動化測量和超大型工廠全自動化測量的需求。

關(guān)鍵詞：臺階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測厚儀 | 段差分析儀