導(dǎo)讀：臺階儀又稱薄膜測厚儀或段差分析儀，是一種接觸式精密量測儀器，主要用來測量微米甚至納米級別的微觀尺寸。面板、光伏、半導(dǎo)體、機械加工等很多產(chǎn)業(yè)都使用臺階儀，因此臺階儀也稱膜厚儀、薄膜測厚儀和段差分析儀。本文主要介紹臺階儀的工作原理和常用領(lǐng)域。

簡單來講，臺階儀的工作原理是：臺階儀的測針以十分微小的力輕輕劃過樣品表面，樣品表面微米甚至納米級別的高低起伏通過與測針連接的傳感器得到千百萬倍的放大，然后被轉(zhuǎn)換成電子信號，輸入到電腦軟件中，最終以數(shù)字和圖形的數(shù)據(jù)形式展現(xiàn)出來，供技術(shù)人員查看。

那么，為什么叫臺階儀？為什么還有膜厚儀、薄膜測厚儀和段差分析儀等其他名字？這是因為臺階儀的應(yīng)用產(chǎn)業(yè)不同。面板、光伏、半導(dǎo)體和機械加工產(chǎn)業(yè)中，測量樣品不同，測量對象也不一樣，叫法也有區(qū)別。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的芯片，和其他產(chǎn)業(yè)的一些產(chǎn)品，表面往往有形狀不一的凸起（例如電路或電極），它們的高度是有限制的，不然就會影響芯片的性能，例如導(dǎo)電和通訊能力。使用儀器測量之后，結(jié)果往往像隨處可見的臺階一樣，因此測量他們的儀器也叫臺階儀。

面板產(chǎn)業(yè)制作的液晶屏幕，例如手機屏，其實分為內(nèi)外兩層，中間夾著一層薄膜，是顯示效果的關(guān)鍵；光伏產(chǎn)業(yè)的光伏玻璃表面也常常有薄膜，臺階儀可以用來測量這些薄膜的高度，所以行內(nèi)人也叫它膜厚儀或者薄膜測厚儀。

至于段差分析儀，是因為從專業(yè)測量的角度來講，以上這些所有的測量，都是在測量“段差”（日語，意為“高低的差異”），并且對段差進行數(shù)據(jù)和圖形的分析。所以，段差分析儀是一個更學(xué)術(shù)的名稱，只是和臺階儀、膜厚儀、薄膜測厚儀命名的角度不同。

后期，我們會繼續(xù)更新臺階儀的結(jié)構(gòu)、使用、各家臺階儀比較等等方面的內(nèi)容，歡迎持續(xù)關(guān)注。

日本進口的KOSAKA 臺階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分別對應(yīng)：學(xué)術(shù)和科研單位測量，面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動化測量和超大型工廠全自動化測量的需求。

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