市面上常見的臺階儀傳感器主要分為兩種，即杠桿式傳感器和直動式傳感器。兩者傳感器，因其動作原理不同，主要差別體現(xiàn)在以下幾個方面：

1. 工作原理

? 杠桿式傳感器：工作原理類似于杠桿結(jié)構(gòu)。當探針接觸到被測物體表面并產(chǎn)生上下位移時，這種位移會通過杠桿系統(tǒng)（支點）進行放大或轉(zhuǎn)換，然后將位移信息傳遞給傳感器進行測量。這種方式在一定程度上可以增加測量的靈敏度，但由于存在杠桿結(jié)構(gòu)，可能會引入一些誤差，比如圓弧誤差等。

? 直動式傳感器：探針的運動是直接沿著垂直方向進行的，沒有中間的杠桿等轉(zhuǎn)換機構(gòu)。當探針在被測物表面移動時，其垂直方向的位移直接被傳感器檢測到，從而獲得被測物表面的形貌信息。這種直接測量的方式能夠更準確地反映出被測物表面的實際形貌，避免了因杠桿結(jié)構(gòu)帶來的誤差，從而可以真實的反應(yīng)被測物體的表面形貌。

2. 測量精度：

? 杠桿式臺階儀：由于杠桿結(jié)構(gòu)（支點）可能受到機械間隙、摩擦等因素的影響，在一定程度上會降低測量的精度。尤其是對于微小尺寸的測量，這些因素的影響可能會更加明顯。且，杠桿式臺階儀隨著設(shè)備使用頻次的增加，杠桿結(jié)構(gòu)（支點）的磨損、機械間隙將變大，更加劇了測量精度上的誤差。

? 直動式臺階儀：由于沒有復雜的機械轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)，減少了誤差來源，所以通常具有更高的測量精度，能夠更準確地測量出微小的臺階高度和表面形貌變化。

3. 重復性：

? 杠桿式臺階儀：受杠桿結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性以及傳感器的響應(yīng)特性等因素影響，在多次測量同一物體時，可能會存在一定的測量結(jié)果偏差。且，切換不同臺階厚度的樣品時，需重復多次校正以確保設(shè)備的測量精度。

? 直動式臺階儀：由于其結(jié)構(gòu)相對簡單，且直接測量的方式更穩(wěn)定，所以在重復性方面通常表現(xiàn)更好，多次測量的結(jié)果一致性較高。切換不同臺階厚度的樣品時，也只需通過一次校正即可滿足設(shè)備的測量精度。

4. 適用范圍：

? 杠桿式臺階儀：對于一些測量精度要求不是特別高，或者被測物體的表面形貌較為簡單的情況，杠桿式臺階儀可以滿足基本的測量需求。此外，由于其成本相對較低，在一些預(yù)算有限的應(yīng)用場景中較適用。

? 直動式臺階儀：適用于對測量精度要求較高的場合，如半導體制造、光學元件加工、精密機械制造等領(lǐng)域。這些領(lǐng)域需要準確地測量出微小的臺階高度和表面形貌變化，以保證產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

日本進口KOSAKA 臺階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，可測量各類薄膜厚度，最小測量單位可達0.1nm，配置行業(yè)領(lǐng)先的直動式傳感器，擁有較高的測量精度及重復性。

關(guān)鍵詞：臺階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測厚儀 | 段差分析儀