隨著時代的不同發(fā)展，制造業(yè)、面板行業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)對于加工精度要求也越來越高，同樣對于與之對應(yīng)的檢測設(shè)備精度也有更高的要求。在精密量測中，長度單位的選擇對于確保測量的準(zhǔn)確性和精度至關(guān)重要。今天就羅列以下在精密量測中常用的長度單位。

在國際單位制（SI）中，米（m）是基本長度單位，在精密儀器中，常用的長度單位包括以下幾種：

納米（nm）：1 納米等于 10?? 米，是一種在納米尺寸上研究物質(zhì)特性和相互作用，以及利用這些特性為人類服務(wù)的科學(xué)技術(shù)。常用于描述微觀結(jié)構(gòu)，如原子、分子尺度的距離，以及半導(dǎo)體器件中的特征尺寸等。

微米（μm）：1 微米等于 10?? 米，用于界定物理特征尺寸接近1μm的體系，常用于測量微小物體的長度，如：尺寸、薄膜厚度等。

忽米（cmm）：1 忽米等于 10?? 米。是工廠常說的絲、條、道。

絲米（dmm）：1 絲米等于 10?? 米，1毫米等于10絲米，1絲米等于10忽米。絲米常用于精密制造和工程繪圖等領(lǐng)域，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。

毫米（mm）：1 毫米等于 10?3 米，在國際單位制（SI）中，毫米是機械制造中常用的計量單位之一。在精密量測和制造過程中，毫米單位使用普遍，能夠滿足大多數(shù)測量需求，在一些精度要求不是極高但仍需較準(zhǔn)確測量的情況下使用。

換算關(guān)系如下：

1000納米=1微米；

10微米=1忽米；

10忽米=1絲米；

10絲米=1毫米；

10毫米=1厘米；

10厘米=1分米；

10分米=1米；

在特定的精密儀器和測量領(lǐng)域，還可能會根據(jù)具體的需求使用其他特殊的長度單位或特定的度量標(biāo)準(zhǔn)。

日本進口KOSAKA 臺階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，可測量各類薄膜厚度，最小測量單位可達(dá)0.1nm。

關(guān)鍵詞：臺階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測厚儀 | 段差分析儀